世伟洛克® CR-288® 浓度监测器获"最佳产品奖"
俄亥俄州索伦市(2008 年 7 月 8 日) - 世伟洛克® CR-288® 浓度监测器代表了半导体制造业所需的卓越水平,因此被 半导体国际杂志 授予 2008 年最佳产品称号。CR-288 浓度监测器是获该刊第 19 届年度"编辑选择最佳产品奖"的 20 个产品之一。该奖项用于表彰杰出的半导体制造及相关工业用产品。获奖产品是由 半导体国际杂志编辑委员会评选产生的。
半导体国际杂志 总编 Laura Peters 说:“我们的最佳产品奖与其它方面的不同。我们表彰的是已经得到用户认可的、经过实际验证的产品和材料,这些产品和材料的优异性能和/或能力是竞争产品或材料所不能达到的。我们很高兴地表彰了很多个人和公司,是他们的辛勤工作为市场带来了创新产品。”
CR-288 浓度监测器满足了半导体制造业的一项关键需求,即设备制造过程中所用液体化学品的更好监测与控制。这种产品可以安装在工艺流内或送入或混合化学品的使用点,能够提供实时的、高准确度的工艺流体浓度与温度。
利用专有的软件,技术人员可以针对半导体实验室或蚀刻、晶圆清洗、光刻胶沉积与清除、化学机械研磨 (CMP) 等制造工艺使用的化学品混合物对设备进行校准。这种监测器使用一个数字显示单元监测多达四个不同流体流,能够帮助半导体制造工业降低化学品消耗、改善工艺控制、提高工艺可见度、检查工艺问题、减少晶圆报废率、提高生产率。
CR-288 监测器使用一个 LED 光源、一个镜面、一块蓝宝石和一个光电二极管阵列探测器测量折射率。光束照射在一个与工艺液体接触的蓝宝石窗上。计算机软件根据反射光束的读数计算出被测液体的折射指数。然后可以比较折射率计算值和所需化学品混合物或浓度的折射率。
蓝宝石窗口和使用超高纯改进型 PTFE 制成的传感器体是唯一与流体接触的部件。光学流体室内的热电偶测量温度读数。液体的折射指数是浓度和温度的函数。
世伟洛克公司总部位于美国俄亥俄州索伦市,是流体系统解决方案的主要开发商和提供商,为科研、仪表、制药、石油和天然气、电力、石化、替代燃料和半导体行业提供产品、组装和服务。世伟洛克的生产、科研、技术支持和经销商为一个由 57 个国家的 200 多家授权销售与服务中心组成的全球网络提供支持。
欲了解关于世伟洛克公司的更多信息,请访问公司网站 www.swagelok.com.cn。
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