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> ALD隔膜阀
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超高循环寿命及耐腐蚀原子层沉积(ALD)隔膜阀
世伟洛克ALD隔膜阀系列设计旨在满足原子层沉积和其它需要超高循环寿命，流量一致性，启动速度或热一致性的应用的要求。这些可以降低维护率，增强质量，并且提高生产率。
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规格 |
循环寿命
启动速度
压力额定值
温度额定值
流量系数
端接
端接尺寸 |
25,000,000
5毫秒
145 psig (10 bar)
32至392°F (0至200°C)
达0.62标准
VCR®, 卡套管对焊 ,
模块化表面安装
1/4, 3/8 和1/2 in.
6, 10和12 mm |
更多信息请参见
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ALD阀门在加热应用中体现了非凡的热控制性能。 | |
特性
- 超高循环寿命，超过25,000,000个循环周期。
- 高达 392°F (200°C)的高度一致性的热管理体制可以减少热点和冷点并延长阀门寿命。
- 快速启动速度不到5毫秒
- 正在申请专利的流量设置功能允许在阀门组装后设置流量使阀门至阀门流量一致性达到最大并使脉冲气体传输中的波动达到最小，同时加强工艺稳定性。
- 在半导体工艺生产中可以与多种化学流体兼容并且具有耐腐蚀性
- 全清扫流道设计使截留的可能性降至最低，使流量达到最大化，且方便清洗。
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配置 - 多端口，多阀组和模块化表面安装配置
- 双端口直通和弯头配置
- 两端，三端以及四端多端口阀门和阀组
- 安装在1.125 in.(仅ALD3系列)和1.5 in.平台上的两端和三端模块化表面安装 ，
- 端接：VCR®，卡套管对焊，模块化表面安装
- 常闭和常开气动执行机构
- 可提供特殊配置
选购件
- 电子执行机构活塞式传感器
- 电磁先导阀
- 筒式加热器孔
有关世伟洛克ALD隔膜阀的详情，请联系您当地的世伟洛克销售和服务中心。
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选择授权的
销售和服务中心
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