改变语言 首页 登录 购物车 销售与服务 网站地图 联系我们
流体系统技术 搜索  
 
世伟洛克 (Swagelok®) SCF 系列超高纯气体过滤器
世伟洛克 SCF 系列 UHP 气体过滤器用于满足 SEMI E49.8-96 的严格要求。SCF 系列 UHP 过滤器采用专有的 Membralox® 陶瓷过滤元件和 316L VAR 不锈钢壳体,适用于许多要求苛刻的气体过滤场合。

超高纯气体过滤器 规格
工作压力
压差
温度
最大流量
阀体材料
内部表面光洁度
元件
• 材料
•  清除等级
端接
• 类型
• 尺寸
 
最高 3000 psig (206 bar)
最高 2500 psi (172 bar)
最高 200°C (400°F)
2700 std L/min
316L VAR 不锈钢
电抛光,5 µin.(0.13 µm) Ra

高纯铝
0.0003 µm 时 > 99.9999999 %

VCR® 面密封接头
1/4、1/2 和 3/4 in.


更多信息
下载产品目录超高纯气体过滤器—SCF 系列
下载SCF 系列超高纯气体过滤器技术报告

在产品搜索中查找超高纯气体过滤器

其他过滤器
通用全焊直通、直通和三通型过滤器
凝聚和颗粒气体过滤器

超高纯气体过滤器特点

  • Membralox 陶瓷过滤技术
  • 高效清除颗粒
  • 颗粒脱落率极低
  • 优异的水分烘干特性
  • 漏气率极低
  • 优异的化学相容性
  • 高压差额定值
  • 直通全焊结构


Membralox 陶瓷过滤技术
  

SCF 系列陶瓷过滤元件  SEM 图像,SCF 过滤元件膜层
陶瓷过滤元件是用高纯氧化铝制成的多通道块状或管状结构。 该电子显微镜扫描图像显示了过滤元件的两个膜层:超细膜层和细膜层(自上而下)。

Membralox 陶瓷过滤元件是多层过滤介质。材料是有精密控制孔隙结构的高纯铝。

Membralox 陶瓷元件采用一种挤压多流道块状或管状结构。结构内流道的表面涂有精密控制膜层。最终烧结过程把这些层熔合在一起。

结果就得到具有颗粒脱落率极低、流量特性高特点的过滤元件。按照 SEMI F38-0699 测试时,该过滤器的清除等级在 0.003 µm 时为大于 99.9999999 %。

Membralox 陶瓷过滤元件具有耐高温和化学稳定性能,以及优异的颗粒清除和漏气特性。

测试
所有 SCF 系列过滤器都经过了氦气泄漏检测,最大泄漏率为 9 × 10–9 std cm3/s。SCF 系列过滤器设计经过了氦气泄漏检测,最大泄漏率为 2 × 10–10 std cm3/s。

清洁和包装 
所有 SCF 系列过滤器都是按照世伟洛克超高纯工艺规范 (SC-01)加工处理的


选择一个授权 销售与服务中心

集成测试阀门组件

世伟洛克® 疏水阀集成测试阀门组件
通过对疏水阀性能进行快速目视监测降低蒸汽和能量损失。
Bellows-sealed valves

通用和高纯服务世伟洛克® 波纹管阀
世伟洛克波纹管密封阀产品有多种尺寸、材质和配置,能够满足各种通用和高纯环境的需求。