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> 超高纯气体过滤器 —SCF 系列
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世伟洛克 (Swagelok®) SCF 系列超高纯气体过滤器
世伟洛克 SCF 系列 UHP 气体过滤器用于满足 SEMI E49.8-96 的严格要求。SCF 系列 UHP 过滤器采用专有的 Membralox® 陶瓷过滤元件和 316L VAR 不锈钢壳体，适用于许多要求苛刻的气体过滤场合。
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规格
工作压力
压差
温度
最大流量
阀体材料
内部表面光洁度
元件
• 材料
• 清除等级
端接
• 类型
• 尺寸 |
最高 3000 psig (206 bar)
最高 2500 psi (172 bar)
最高 200°C （400°F）
2700 std L/min
316L VAR 不锈钢
电抛光，5 µin.(0.13 µm) Ra
高纯铝
0.0003 µm 时 > 99.9999999 %
VCR® 面密封接头
1/4、1/2 和 3/4 in. |
更多信息
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其他过滤器
通用全焊直通、直通和三通型过滤器
凝聚和颗粒气体过滤器
 特点
- Membralox 陶瓷过滤技术
- 高效清除颗粒
- 颗粒脱落率极低
- 优异的水分烘干特性
- 漏气率极低
- 优异的化学相容性
- 高压差额定值
- 直通全焊结构
Membralox 陶瓷过滤技术
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| 陶瓷过滤元件是用高纯氧化铝制成的多通道块状或管状结构。 |
该电子显微镜扫描图像显示了过滤元件的两个膜层：超细膜层和细膜层（自上而下）。 |
Membralox 陶瓷过滤元件是多层过滤介质。材料是有精密控制孔隙结构的高纯铝。
Membralox 陶瓷元件采用一种挤压多流道块状或管状结构。结构内流道的表面涂有精密控制膜层。最终烧结过程把这些层熔合在一起。
结果就得到具有颗粒脱落率极低、流量特性高特点的过滤元件。按照 SEMI F38-0699 测试时，该过滤器的清除等级在 0.003 µm 时为大于 99.9999999 %。
Membralox 陶瓷过滤元件具有耐高温和化学稳定性能，以及优异的颗粒清除和漏气特性。
测试
所有 SCF 系列过滤器都经过了氦气泄漏检测，最大泄漏率为 9 × 10–9 std cm3/s。SCF 系列过滤器设计经过了氦气泄漏检测，最大泄漏率为 2 × 10–10 std cm3/s。
清洁和包装
所有 SCF 系列过滤器都是按照世伟洛克超高纯工艺规范 (SC-01)加工处理的。
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