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流体系统部件
具有可靠性的创新
 想要进行下一轮半导体革新吗？请从信赖世伟洛克 流体系统部件开始吧－这些部件是专为将来而设计并且现在就可获得。世伟洛克始终坚持自已的承诺，不断提供保持领先地位的创新型可靠产品，以便您能始终走在竞争对手的前面。
当您试图改进半导体时，我们一直在用具有稳定和可靠性能的世伟洛克部件，来帮助您改进您的工艺过程－为您提供稳定的生产量、缩短停工期、以及把维护成本降到最低。我们的整个生产线包括： - DRP系列超高纯度含氟聚合物隔膜阀消除了所有的截留区域以提高抗污染能力。它们可以快速清洁，并使您可以更有效地净化工艺流体。
- IGC™ II集成气体系统重量轻且易于装配。它的紧凑和开放性构造使您可以更好地利用紧密空间及各种随时可以获得的部件。
- HF系列高性能/高流量气体调压阀在紧凑设计中提供了精确的恒定压力控制。
- DP系列超高纯度无弹簧隔膜阀的设计特点是把膨胀的可能降到了最低，并提供了全面可清扫的流道，以减少发生污染的可能性并帮助确保不受限制的流动。
- SCF系列超高纯度气体陶瓷过滤器最大程度减小了湿度吸收、分层、颗粒脱落、以及系统污染的风险。
- PGU系列压力表配备了正宗的世伟洛克VCR® 面密封接头和IGC II表面安装端部连接。
- VCR金属面密封和Micro Fit® 焊接接头已被证明在半导体流体系统应用中极其可靠。
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