规格 工作压力 爆裂压力 执行压力 温度 流量系数 阀体材料 隔膜材料 端接 • 类型 • 尺寸

真空到 300 psig (20.6 bar) 3200 psig (220 bar) 70 到 100 psig (4.9 到 6.8 bar) –23 到 132°C（–10 到 270°F） 0.62 316L VAR 不锈钢 Elgiloy® "H" 型 VCR® 面密封接头、VCR 面密封接头、卡套管对焊 1/4、3/8、1/2 in.；10 和 12 mm

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更多超高纯隔膜阀
原子层沉积 (ALD) 用隔膜阀
高性能无弹簧隔膜阀—DP 系列

特点

• 与介质接触区没有弹簧或螺纹，提高了清洁度
• 完全可清扫流道，易于清洗和更换气体
• PCTFE 容积极小，最大程度地减少了气体吸附和解吸附
• 全密封式阀座插入件，延长使用寿命
• 可为远程启动提供常闭和常开气动执行机构
• 可为手动启动提供圆形和一体式锁定手柄。
• 四分之三圈启动
• 提供七种手柄颜色供选

超高纯无弹簧隔膜阀工艺规范

• 特殊清洁，工艺代号 P1：特殊清洁和包装 (SC-11)
  • 使用非臭氧损耗化学品进行特殊清洁
  • 阀在特殊清洁区单独包装
  • 机加工，平均值为 5 µin.(0.13 µm)。
• 超高纯，工艺代号 P:超高纯工艺规范 (SC-01)
  • 采用全程监控的去离子水超声波清洁系统进行超高纯清洁
  • 在 ISO 4 级工作区内，使用无尘室包装对每个阀门进行双层包装并真空密封
  • 机加工和电抛光，平均值为 5 µin.(0.13 µm)。

超高纯无弹簧隔膜阀测试
按照 SEMI F1 进行了向内氦气泄漏测试，最高泄漏率为 1 × 10^–9 std cm³/s。

配置

多孔口阀	多阀阀组

• 两孔口气动阀
• 两孔口气动阀
• 多孔口和弯管阀
• 多阀阀组
  

选购件