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High-Purity Filters

高纯过滤器

  • 满足SEMI E49.8-96严格的超高纯气体系统的过滤要求(SCF系列)。
  • 具有直通、全焊接结构(FW系列)。

全焊接直通型过滤器(FW系列)

规格

工作压力 达到6000 psig (413 bar)
压差 达到600psi (41.3 bar)
温度 -20到900℉(-28到482℃)
壳体材料 316不锈钢
滤芯
材料 316L不锈钢烧结式或不锈钢折叠网式
标称孔径 0.5到15µm
端接
类型 世伟洛克卡套管接头、NPT、VCR®面密封接头
尺寸 1/4 in.; 6 mm

超高纯(UHP)气体过滤器(SCF系列)

规格

工作压力 达到3000 psig (206 bar)
压差 达到2500 psi (172 bar)
温度 达到400°F (200°C)
最大流量 2700 std L/min
壳体材料 316L VAR 不锈钢
内表面处理 电抛光, 5 µin (0.13 µm) Ra
滤芯
材料 高纯氧化铝
过滤等级 > 99.999999 % at 0.003 µm
端接
类型 VCR 面密封接头
尺寸 1/4, 1/2, 和3/4 in.

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"安全的产品选择:请务必查看全部产品目录内容以保证系统设计者和用户进行安全的产品选择。选择产品时,必须考虑总体系统设计以保证获得安全的、无故障的性能。功能、材料兼容性、充分的额定值、正确的安装、使用和维护是系统设计者和用户的重要责任。

注意:切勿将世伟洛克产品与其他品牌的产品混合使用。"