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隔膜密封阀

隔膜阀

我们的隔膜密封阀产品有多种尺寸、材质和配置可供选择,能够满足各种高纯和超高纯 (UHP) 应用的需求。

隔膜密封阀:

  • 循环寿命长,可有效关断
  • 具有包括手动、气动和锁定在内的执行机构选购件
  • 提供各种尺寸、材质和配置

我们的隔膜密封阀产品包括:

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大宗气体隔膜阀(LD 系列)

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LD 系列大宗气体隔膜阀的流量系数高达 13,有多种阀体材料和配置可供选择,因此广泛适用于各种超高纯关断、大宗气体输送和隔离应用。

规格

工作压力 最高 300 psig (20.6 bar)
温度 -20° 至 300°F(-28° 至 148°C)
流量系数 最高 13
阀体材料 CF3M 铸造不锈钢、锻造和棒材 316L 不锈钢
隔膜材料 316L 不锈钢
端接
类型 世伟洛克卡套管接头、外螺纹 VCR® 面密封接头、内螺纹 NPT、内螺纹 ISO、卡套管延长管
尺寸 1/4 至 1 in.;12 至 25 mm

隔膜密封阀(DL 和 DS 系列)

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DL 系列和 DS 系列隔膜阀为 3500 psig (241 bar) 以下压力的高纯和超高纯应用提供无填料的全金属密封。

规格

工作压力 最高 3500 psig (241 bar)
温度 -100° 至 250°F(-73° 至 121°C)
流量系数 最高 0.30
阀体材料 316L 不锈钢
隔膜材料 316 不锈钢
端接
类型 世伟洛克卡套管接头、VCR® 面密封接头、VCO® O 型圈接头、卡套管对焊、卡套管承插焊
尺寸 1/4、3/8 和 1/2 in.;6 和 8 mm

超高纯含氟聚合物隔膜阀(DRP 系列)

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DRP 系列超高纯隔膜阀符合适用于超高纯化学品输送系统与设备的 SEMI 标准 F57-0301,其增强型设计有助于最大程度地减少截留区并延长隔膜寿命。

规格

压力额定值 最高 100 psig (6.8 bar)
介质温度 73° 至 212°F(23° 至 100°C)
流量系数 最高 10.2
阀体、隔膜材料 改良型 PTFE
端接
类型 标准配置为细牙螺纹扩口和 Nippon Pillar Super 300®;ISO、NPT、Flowell
尺寸 1/4 至 1 1/4 in. 和 6 至 25 mm
配置 2 通和 3 通手动和气动关断;流量可调和旁通型

高流量无弹簧隔膜阀(DF 系列)

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DF 系列隔膜阀广泛适用于各种超高纯大流量应用场合,流量系数为 0.62,并配备有大流量端接。

规格

工作压力 真空至 300 psig (20.6 bar)
爆裂压力 3200 psig (220 bar)
执行压力 70 至 100 psig(4.9 至 6.8 bar)
温度 -10° 至 270°F(-23° 至 132°C)
流量系数 0.62
阀体材料 316L VAR 不锈钢
隔膜材料 钴基高温合金
端接
Type “H”型 VCR® 面密封接头、VCR® 面密封接头、卡套管对焊
Size 1/4、3/8、1/2 in.;10 和 12 mm

高性能无弹簧隔膜阀(DP 系列)

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DP 系列隔膜阀采用 316L VIM-VAR 结构,适用于各种超高纯应用场合。

规格

工作压力 真空至 3045 psig (210 bar)
爆裂压力 最高 12 200 psig (840 bar)
执行压力 60 至 120 psig(4.2 至 8.2 bar)
温度 -10° 至 300°F(-23° 至 150°C)
流量系数 0.20 和 0.27
阀体材料 316L VIM-VAR 不锈钢
隔膜材料 钴基高温合金
端接
Type 世伟洛克卡套管接头、VCR® 面密封接头、卡套管对焊、模块化表面安装 (MSM)
Size 1/4 in.;6 mm

适用于模块化气体系统的 1.125 in. 无弹簧隔膜阀(DE 系列)

DE 系列产品目录

DE 系列无弹簧隔膜阀有多种执行机构选购件可供选择,易于集成到 1.125 in. C 型密封或 W 型密封模块气体系统中。

规格

工作压力 真空至 125 psig (8.6 bar)
爆裂压力 3200 psig (220 bar)
执行压力
常闭 60 至 120 psig(4.1 至 8.2 bar)
常开和 60 至 90 psig(4.1 至 6.2 bar)
常闭,带手动
整体锁定超控
温度 14° 至 150°F(-10° 至 65°C)
流量系数 0.3
阀体材料 316L VIM-VAR 不锈钢
隔膜材料 钴基高温合金
端接
类型 1.125 in. 模块化表面安装 (MSM)
配置 2 孔口和 3 孔口

热浸没型隔膜阀(DH 系列)

DH 系列产品目录

世伟洛克热浸没型隔膜阀启动速度快,流量系数高达 0.60,能够在原子层沉积 (ALD)、前体输送等高温工艺应用场合的 220°C (428°F) 温度下提供最佳性能。此系列阀门有气动型和手动型可供选择,并具有各种 1/4 和 3/8 in. 端接。

规格

工作压力 真空至 70 psig (4.8 bar)
爆裂压力 > 3200 psig (220 bar)
Actuation Pressure 60 至 90 psig(4.1 至 6.2 bar)
温度 20° 至 220°C(70° 至 428°F)
流量系数
“H”型 VCR® 连接件 20°C (70°F) 下为 0.60
220°C (428°F) 下为 0.40
VCR 和所有其他连接件 20°C (70°F) 下为 0.30
220°C (428°F) 下为 0.21
模块化表面安装 body 20°C (70°F) 下为 0.25
220°C (428°F) 下为 0.21
阀体材料 316L VIM-VAR 不锈钢
隔膜材料 钴基高温合金
端接
Type VCR 和“H”型 VCR 金属垫片面密封接头、卡套管对焊;模块化表面安装 (MSM)
Size 1/4 和 3/8 in.
1.125 和 1.5 in. MSM

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安心的产品选择:必须查看全部产品目录内容以保证系统设计者和用户进行安全的产品选择。选择产品时,必须考虑总体系统设计以保证获得安全无故障的性能。产品的功能、材料兼容性、充分的额定值、正确的安装、操作和维护均是系统设计者和用户的责任。

注意:切勿将世伟洛克的双卡套管接头端接组件(或不符合工业设计标准的其他产品)与其他制造商的组件混用/互换。